Isolierte

piezoresistive Medien

Werden Drucksensoren für „raue Umgebungen“ in Druckbereichen unter 10bar, insbesondere unter 1bar, benötigt, haben sich sogenannte ölgefüllte Sensormodule bewährt.

Die hier verwendeten piezoresistiven MEMS-Standard-Drucksensorelemente sind durch eine zusätzliche dünne Edelstahlmembran vor dem Messmedium geschützt. Ein Öl dient als Druckübertragungsmedium von der Stahlmembran zum Siliziumchip.

Diese Art von Sensoren (bei Prignitz Mikrosystemtechnik unter dem Markennamen PMI) werden sehr erfolgreich in vielen Anwendungsbereichen wie z.B. Ölförderung, Schmutzwasser, Chemikalien, Meerwasser eingesetzt.

Je nach Anwendungsfall stehen verschiedene Ausführungen zur Verfügung, z.B. „innen“ geschützte Membrane, totraumfreie „Flash“-Membrane, Klemmanschluss. Je nach Bauart und Kalibrierungselektronik sind Genauigkeiten und Langzeitstabilitäten von weniger als 0,2% bis hin zu 0,04% möglich.