Dünnschicht-Technologie

Für hohe Drücke und raue Umgebungen haben sich Stahlmembranen in der Drucksensorik bewährt. Die zuverlässigsten Messprinzipien auf Stahlmembranen verwenden sogenannte Dünnschichttechnologien oder alternativ Dehnungsmessstreifen (DMS), wobei Dünnschichttechnologien ein relativ geringes Rohsignal aufweisen, während piezoresistive Elemente durch ein deutlich höheres Rohsignal gekennzeichnet sind.

Prignitz Mikrosystemtechnik setzt beide Messverfahren ein. Bei der Dünnschichttechnologie verwenden wir Messwiderstände aus Polysilizium, die im Vergleich zu anderen Dünnschichttechnologien (meist gesputterte Metalle) etwa das dreifache Rohsignal aufweisen. Der verwendete Stahl 17-4PH (1.4542) zeichnet sich vor allem durch hohe Überlastwerte aus. Die Technologie, die bei Prignitz Mikrosystemtechnik seit Jahrzehnten eingesetzt wird, verfügt über ein sehr breites Anwendungsspektrum und eine hohe Zuverlässigkeit.

Das zu messende Medium kommt nur mit nichtrostendem Stahl in Berührung. Die hohe interne Wertschöpfungstiefe ermöglicht es der PMST, einerseits schnell auf Kundenanforderungen zu reagieren und andererseits ein hohes, gleichbleibendes Qualitätsniveau zu halten.

Die TFT-Technologie kann in allen unseren Drucksensoren der Serien S100, S200 und C100 eingesetzt werden.